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AI专利成为半导体设备发展关键,谁是这个领域的佼佼者?

外国公司实际上垄断了韩国国内半导体设备中使用的人工智能(AI)专利。韩国国内一些企业也开始争取人工智能专利,但距离实现还很远。数量最多的是半导体设备商是哪些呢?

本文由半导体产业纵横编译自englishMR0esmc

调查发现,外国公司实际上垄断了韩国国内半导体设备中使用的人工智能(AI)专利。韩国国内一些企业也开始争取人工智能专利,但距离实现还很远。韩国的半导体设备竞争力将随着人工智能技术的落后而受到高度关注,而人工智能技术是提高半导体工艺生产力的关键。MR0esmc

下一代智能半导体基金会与韩国半导体与显示技术学会合作,针对国外10大半导体设备企业和韩国国内10家半导体设备企业进行了AI专利竞争力研究。结果证实,国外公司占韩国国内半导体设备相关AI专利的98%。数量最多的是美国的 KLA,有 54 例。ASM 和 ASML 紧随其后,分别为 24 和 20。日立高科申请了12件,应用材料申请了11件,韩国国内设备企业总共只有3件;两个来自SEMES,一个来自PSK。MR0esmc
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外国公司自 2008 年开始在韩国申请人工智能相关专利。虽然大多数跨国公司习惯于在多个国家申请专利,但他们已经实施了一项战略,以尽早获得技术专有权。下一代智能半导体基金会负责人金亨俊评价说:“考虑到大多数专利是在 18 个月后发布的,外国公司急于通过提前披露和优先审查来确保权利。” 尤其是自2017年半导体超级周期真正开启以来,国外企业的专利申请量猛增。韩国国内企业直到2018年才申请专利。MR0esmc

AI技术在半导体设备中的应用直接关系到生产力。它应用于晶圆转移、工艺配方优化和缺陷模式分析。这减少了半导体生产的工艺时间和成本,同时提高了产品产量。业界评估,将人工智能技术应用于半导体设备,可将生产力提升10倍。MR0esmc
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如果专利权得不到及时保障,半导体设备的竞争力就会下降。这是因为国外设备制造商已经引入了人工智能应用的半导体设备,并正在支持半导体制造商提高生产力。Applied 正在通过其 AI 平台优化流程顺序。Lam Research 营销称,其最大的优势是能够通过AI 技术将实验设计的数量和成本减少 20%。KLA 和 TEL 还将人工智能应用于他们的测量和测试设备。MR0esmc
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人工智能专利竞争力也为进入下一代半导体设备市场创造了壁垒。如果外国公司先获得专利,由于半导体制造过程的相似性,那么它可以停止国产设备的开发。MR0esmc

韩国方面的负责人强调,“国产半导体设备人工智能专利的引进和发展出人意料地滞后。有必要在诊断和测试等相对容易引入的领域寻求人工智能专利申请。”MR0esmc

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图为国内外设备企业AI相关专利多次申请,上面为韩国以外的国外公司申请数量,下图为韩国国内公司申请专利数量。从图中看,韩国以外公司在申请半导体设备AI的数量为133,而韩国国内则为3个。MR0esmc

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该图为上图翻译,仅供参考,如有错误,请指正MR0esmc

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