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国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清

近期,一则“7纳米光刻机实现国产化”消息在业界刷屏,消息指出清华大学EUV项目实现了光刻机国产化,并表示该项目已在雄安新区落地。对此,9月18日中国电子院官微进行了澄清。

9月18日中国电子院官微澄清称,该项目不是国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS),而且项目位于北京怀柔雁栖湖畔。AFiesmc

HEPS可以看成是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型X光机。它产生的小光束可以穿透物质、深入内部进行立体扫描从分子、原子的尺度多维度地观察微观世界HEPS,是进行科学实验的大科学装置。AFiesmc

据悉,上述项目在2019年始建设,将在2025年底投入使用,是我国第一台高能量同步辐射光源,也是世界上亮度最高的,第四代同步辐射光源之一。AFiesmc

项目由全国勘察设计大师、国投集团首席科学家娄宇带队,中国电子院多个技术科研和设计团队协同合作,从项目可研立项到项目落地攻克了多项技术和工艺难关。目前高能同步辐射光源配套工程已全面完工。AFiesmc

责编:Elaine
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