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光刻机霸主ASML回应”先进设备不卖给中国”的传闻

早前一段时间,网络盛传因瓦森纳协定限制,光刻机霸主ASML的最先进光刻机台不能卖给中国。日前,国际电子商情记者采访ASML中国区总裁沈波,他说一直以来外界对ASML都存在一定的误解。

早前一段时间,网络盛传因瓦森纳协定限制,光刻机霸主ASML的最先进光刻机台不能卖给中国。在2018年中国集成电路制造年会上,国际电子商情记者采访ASML中国区总裁沈波,他说一直以来外界对ASML都存在一定的误解。

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ASML中国区总裁沈波

关于光刻机禁售中国这一说法,他表示这是不真实的,中国已经能用到的光刻机从来没有拿不到的情况。现在NXT 1980浸润式机台已经进入中国,2000机型明年也将落地中国。但从晶圆制造工艺来看,并不是拥有光刻机就能解决所有问题,关键在于制造技术的提升。

三星、英特尔、台积电早年投资入股ASML,因此外界认为他们具有设备的优先采购权,恐抑制先进设备对其他晶圆厂的供给?对于这种说法,沈波解释,当时这三家厂商的投资背景是希望ASML加快研发脚步,早期他们进行投资,并做了很多技术准备,因此在新机台推出时能较早地用到设备。实际上,整个光刻机的供应产能每年都在提高,按照订单排期,不存在不卖给中国的问题。

中国近年的建厂热潮有目共睹,但沈波指出,真正往前推进的晶圆厂比目前宣布的少很多。

据介绍,ASML今年研发投入为16亿欧元,占年收入15%左右。2018年上半年发货到中国的设备,包括国内和国际客户在中国的晶圆厂,已经占到ASML营收的19%-20%,且全年占比预计15%左右。除了美光和东芝在中国没有设厂外,中芯国际、华虹宏力、长江存储、合肥睿力、福建晋华、英特尔大连厂、三星西安厂、无锡海力士等都是ASML的客户,

AMSL在中国共有13间办公室和分公司,11个仓储转运中心。研发中心设于北京(汉民微测)和深圳(睿初科技),负责计算光刻和量测设备关建模组的研发。在中国的员工人数近1000人。今年5月,与上海集成电路研发中心合作,揭幕全球第五个培训中心,也是在中国大陆唯一一个培训中心。ASML还赞助了上海未来科技大赛,每年在大学组织开展技术讲座。总之,在中国倾注了大量的投入,提供更贴近中国市场的服务。

联电、格芯相继宣布放弃12nm、7nm研发,7nm玩家仅有台积电、三星、INTEL等少数厂商,对ASML有何影响?沈波回应,现阶段,晶圆厂根据自己的业务规划选择了不同的制造技术,晶圆厂无论放慢或者加快研发脚步,始终离不开制造良率、稳定性这些主要技术参数,ASML将帮助客户不断提升工艺技术。

ASML的产品主要有三大类,DUV、EUV和APLLICATION产品。DUV业务最大,2018年-2019年客户开始导入EUV,2020年14nm,7nm都将用到EUV。因此,EUV机台预计有较大产能提高。

沈波表示,今年存储市场表现强劲,逻辑市场放缓,不过值得注意的是,逻辑的制程工艺开始使用最尖端的EUV制程,将对DRAM提出更高要求。ASML将不断提高产品的性能,以帮助客户持续提升芯片价值并降低成本。

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