林本坚的浸润式微影技术影响了半导体产业长达20年的发展,被尊为浸润式微影之父。
国际电子商情讯,力积电近日发出公告,声称公司于04月18日接获独立董事林本坚先生辞职书,自04月27日起辞任。BLkesmc
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力积电前身为DRAM大厂力晶科技,因2012年的财务危机被注销下市,并于2014年由DRAM厂转型为专业晶圆代工厂。去年底,力积电重新上市,(详见国际电子商情报道《暌违9年,力积电重新上市!》),BLkesmc
在市调机构TrendForce上个月发布的2021年第四季前十大晶圆代工产值排名中,力积电排名第七。近日《力积电新12英寸晶圆厂建成!》,4月12日刚刚举行上梁仪式,该工厂预计将在2023年第三季度开始批量生产。BLkesmc
目前,力积电已将2022年的资本支出目标设定为15亿美元,其中97%将用于代工厂的12英寸晶圆厂。BLkesmc
现年80岁的林本坚目前仍是台湾地区中研院院士、台湾清华大学特聘讲座教授,并担任清大半导体学院院长,他在台积电研发副总任内因为研发出浸润式微影技术、改写全球半导体发展史,让台积电甩开与英特尔、三星的距离,也让艾司摩尔放弃原先157奈米干式微影曝光机的研发,转向与台积电共同开发193纳米浸润式微影机台,此外,IBM、比利时微电子研究中心(Imec)等都改用此项技术。 BLkesmc
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林本坚的浸润式微影技术影响了半导体产业长达20年的发展,被尊为浸润式微影之父。BLkesmc
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